高效電池智造裝備
擴散/氧化/退火上下料機
產品特點
最高產能可達到16000pcs/h
可根據(jù)客戶需求進行配置
特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒，陶瓷側齒，減少硅片劃傷，保證設備的穩(wěn)定性
技術參數(shù) | |
|---|---|
| 技術參數(shù) | 相關參數(shù) |
| 產能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 石英舟規(guī)格 | 1000/1200/1600槽 ，節(jié)距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開機率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 1000L/min |
| 具體參數(shù)如有變動，本公司不另行通知！ | |
